13 防靜電與接地設(shè)計

　　13.1 一般規(guī)定

　　13.1.1 潔凈廠房應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置防靜電環(huán)境。防靜電環(huán)境設(shè)計應(yīng)滿足抑制或減少靜電的產(chǎn)生，以及將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全、有效地排除的要求。

　　13.1.2 防靜電環(huán)境設(shè)計應(yīng)按電子產(chǎn)品或生產(chǎn)工序(設(shè)備)進行分級。防靜電環(huán)境內(nèi)靜電電位絕對值應(yīng)小于電子產(chǎn)品的靜電電位安全值。防靜電環(huán)境設(shè)計應(yīng)分為三級，防靜電環(huán)境設(shè)計分級適用場所應(yīng)符合表13.1.2的要求。

　　13.2 防靜電措施

　　13.2.1 潔凈廠房防靜電環(huán)境中，防靜電地面的面層結(jié)構(gòu)和材料應(yīng)符合下列要求：

　　1 防靜電地面面層的選擇，應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求;

　　2 防靜電地面的表層應(yīng)采用靜電耗散性材料，靜電耗散性材料表面電阻率應(yīng)為2.5×104～1×109Ω;

　　3 防靜電地面應(yīng)設(shè)置導(dǎo)靜電泄放設(shè)施和接地連接，其地面對地泄放電阻值應(yīng)為1×105～1×108Ω。

　　13.2.2 潔凈廠房防靜電環(huán)境的吊頂、墻面和柱面的裝飾設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：

　　1 一級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面應(yīng)采用導(dǎo)靜電型。導(dǎo)靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對地電阻應(yīng)為2.5×104～1×106Ω，摩擦起電電壓不應(yīng)大于100V，靜電半衰期不應(yīng)大于0.1s;

　　2 二級防靜電工作區(qū)的地面、墻面、柱面、頂棚、門和軟簾應(yīng)采用靜電耗散型。靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門的表面電阻、對地電阻應(yīng)為1×106～1×109Ω，摩擦起電電壓不應(yīng)大于200V，靜電半衰期不應(yīng)大于1s，但軟簾的摩擦起電電壓不應(yīng)大于300V;

　　3 三級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面宜根據(jù)生產(chǎn)工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料，頂棚、門等宜采用低起電材料。選用靜電耗散型材料的地面、墻面和柱面，應(yīng)符合本條第2款的要求;選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門等的摩擦起電電壓不應(yīng)大于1000V。

　　13.2.3 潔凈廠房防靜電環(huán)境的門窗設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：

　　1 應(yīng)選用靜電耗散材料制作門窗或采用耗散材料貼面;

　　2 金屬門窗表面應(yīng)涂刷靜電耗散性涂層，并應(yīng)接地;

　　3 室內(nèi)隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時，玻璃表面應(yīng)粘貼靜電耗散性透明薄膜或噴涂靜電耗散性涂層。

　　13.2.4 潔凈廠房防靜電環(huán)境的裝修設(shè)計應(yīng)符合下列要求：

　　1 各類裝修材料應(yīng)具有表面靜電耗散性能，不得使用未經(jīng)表面改性處理的高分子絕緣的裝飾材料;

　　2 各類裝修的飾面應(yīng)平整光滑。

　　13.2.5 潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)口和風(fēng)管，應(yīng)選用導(dǎo)電材料制作，并應(yīng)接地。

　　13.2.6 潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時，應(yīng)在其表面安裝金屬網(wǎng)，并應(yīng)將其接地。當使用導(dǎo)電性橡膠軟管時，應(yīng)在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的金屬導(dǎo)體，并應(yīng)采用接地引線與其可靠連接接地。

　　13.2.7 潔凈廠房防靜電環(huán)境中，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置靜電消除器、防靜電安全工作臺。

　　13.3 防靜電接地

　　13.3.1 潔凈廠房內(nèi)金屬物體包括潔凈室(區(qū))的墻面、門窗、吊頂?shù)慕饘俟羌?，?yīng)與接地系統(tǒng)做可靠連接，導(dǎo)靜電地面、活動地板、工作臺面、座椅等應(yīng)做靜電接地。

　　13.3.2 靜電接地的連接線應(yīng)有足夠的機械強度和化學(xué)穩(wěn)定性，其主干線截面不應(yīng)小于95mm2，支線最小截面應(yīng)為2.5mm2。

　　13.3.3 與人體接觸的靜電接地應(yīng)串接限流電阻，限流電阻的阻值宜為1MΩ。

　　13.3.4 對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動液體、氣體或粉體管道，應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災(zāi)危險的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。