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6、空氣凈化

文章作者:超級(jí)管理員  文章來源:本站  點(diǎn)擊: 91268次  時(shí)間:2022-08-11 11:23:00

  6.1.1  潔凈的生產(chǎn)環(huán)境是生產(chǎn)工藝的需要,是確保產(chǎn)品的成品率和產(chǎn)品質(zhì)量的可靠性、長壽命所必需的。隨著我國國民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展,各行各業(yè)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的溫度、相對(duì)濕度和潔凈度的要求也越來越高。例如:大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展很快,在1980年時(shí)其集成度只有64kB,而到目前集成度已提高到1GB;64kB集成電路前工序生產(chǎn)所要求生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度等級(jí)只有4級(jí)和5級(jí),而1GB集成電路前工序生產(chǎn)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境潔凈度等級(jí)的要求提高到1級(jí)和2級(jí)(0.1μm)。

  不同的生產(chǎn)工藝、不同的生產(chǎn)工序?qū)ιa(chǎn)環(huán)境的要求也是不相同的,因此,確定潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)時(shí)應(yīng)根據(jù)不同工藝、不同工序?qū)Νh(huán)境的潔凈度要求而定。

  根據(jù)不同生產(chǎn)工藝、不同生產(chǎn)工序?qū)Νh(huán)境潔凈度的不同要求,該高則高,該低則低,盡量縮小高潔凈度等級(jí)部分的面積,以局部  高等級(jí)凈化和全室較低等級(jí)凈化的潔凈室系統(tǒng)代替全室高等級(jí)凈化的潔凈室系統(tǒng)。既能確保不同生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境的要求,又能大幅度地降低初投資和運(yùn)行費(fèi)用。

  例如:對(duì)于生產(chǎn)1GB超大規(guī)模集成電路前工序的潔凈室來說,在整個(gè)生產(chǎn)過程中只有少數(shù)工序(制版、光刻等)對(duì)環(huán)境的潔凈度等級(jí)要求最高為1級(jí)或2級(jí),而其他大部分工序只要求5級(jí)、6級(jí),甚至只有7級(jí)。不需將全部潔凈室都設(shè)計(jì)為1級(jí)或2級(jí)。

  6.1.4  人是潔凈室內(nèi)主要的發(fā)塵源,作業(yè)人員進(jìn)入潔凈室必須穿著與潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)相適應(yīng)的潔凈工作服。由于潔凈工作服的透氣性較差,為了保證作業(yè)人員的工作環(huán)境,提高勞動(dòng)生產(chǎn)率,在潔凈室生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境的溫、濕度沒有特殊要求時(shí),潔凈室內(nèi)的溫度主要是為了作業(yè)人員的舒適。因此,潔凈室溫度冬季為20℃~22℃,夏季為24℃~26℃,濕度冬季為30%~50%,夏季為50%~70%,比較適宜。由于潔凈室(區(qū))的溫度、相對(duì)濕度首先應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定,只有在生產(chǎn)工藝無要求時(shí),才能按本條的規(guī)定根據(jù)作業(yè)人員的舒適度確定,但在本規(guī)范實(shí)施中因潔凈廠房生產(chǎn)的產(chǎn)品多種多樣,作業(yè)人員多少和工作條件也不相同,所以強(qiáng)制執(zhí)行有困難,為此本次修訂改為推薦性條文。

  6.1.5 本條為強(qiáng)制性條文。現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB  50019中對(duì)一般工業(yè)廠房的新鮮空氣量的規(guī)定為每人每小時(shí)不小于30m3。由于新鮮空氣量是確保潔凈室(區(qū))作業(yè)人員健康的重要條件之一,所以本次修訂中對(duì)潔凈室(區(qū))的新鮮空氣量規(guī)定為應(yīng)取補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和,保證供給潔凈室(區(qū))內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。兩項(xiàng)中的最大值。

  6.2 潔凈室壓差控制

  6.2.1  為了保證潔凈室在正常工作或空氣平衡暫時(shí)受到破壞時(shí),氣流都能從空氣潔凈度高的區(qū)域流向空氣潔凈度低的區(qū)域,使?jié)崈羰业臐崈舳炔粫?huì)受到污染空氣的干擾,所以潔凈室必須保持一定的壓差。

  在國內(nèi)外潔凈室標(biāo)準(zhǔn)和潔凈度等級(jí)中,對(duì)潔凈室內(nèi)壓差值的大小都作了明確規(guī)定。

  壓差值的大小應(yīng)選擇適當(dāng)。壓差值選擇過小,潔凈室的壓差很容易破壞,潔凈室的潔凈度就會(huì)受到影響。壓差值選擇過大,就會(huì)使凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)量增大,空調(diào)負(fù)荷增加,同時(shí)使中效、高效過濾器使用壽命縮短,故很不經(jīng)濟(jì)。另外,當(dāng)室內(nèi)壓差值高于50Pa時(shí),門的開關(guān)就會(huì)受到影響。因此,潔凈室壓差值的大小應(yīng)根據(jù)我國現(xiàn)有潔凈室的建設(shè)經(jīng)驗(yàn),參照國內(nèi)外有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和試驗(yàn)研究的結(jié)果合理確定。

  自《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GBJ  73-84在1985年頒布以來,我國按規(guī)范設(shè)計(jì)、建造了數(shù)百萬平方米的各種潔凈級(jí)別的潔凈室,并且都經(jīng)過了數(shù)年的運(yùn)行考驗(yàn),滿足了工藝要求。實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)證明,《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GBJ  73-84中有關(guān)潔凈室內(nèi)正壓值的選擇是正確的、可行的。

  已頒布實(shí)施的國際標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——第一部分,空氣潔凈度的分級(jí)》IS0 14644-1和日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室懸浮粒子檢測(cè)方法》JIS  9920、俄羅斯國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》TOCTP  50766等有關(guān)現(xiàn)行的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)中都明確規(guī)定,為了保持潔凈室的潔凈度等級(jí)免受外界的干擾,對(duì)于不同等級(jí)的潔凈室之間、潔凈室與相鄰的無潔凈度級(jí)別的房間之間都必須維持一定的壓差。雖然各個(gè)國家規(guī)定的最小壓差值不盡相同,但最小壓差值都在5Pa以上。

  由于潔凈室(區(qū))與周圍空間維持一定的壓差是實(shí)現(xiàn)空氣潔凈度的基本條件,為此,規(guī)定本條為強(qiáng)制性條文。

  6.2.2  試驗(yàn)研究的結(jié)果表明,潔凈室內(nèi)正壓值受室外風(fēng)速的影響,室內(nèi)正壓值要高于室外風(fēng)速產(chǎn)生的風(fēng)壓力。當(dāng)室外風(fēng)速大于3m/s時(shí),產(chǎn)生的風(fēng)壓力接近5Pa,若潔凈室內(nèi)正壓值為5Pa時(shí),室外的污染空氣就有可能滲漏到室內(nèi)。但根據(jù)現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《采暖通風(fēng)和空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB  50019編制組提供的全國氣象資料統(tǒng)計(jì),全國203個(gè)城市中有74個(gè)城市的冬夏平均風(fēng)速大于3m/s,占總數(shù)的36.4%。這樣如果潔凈室與室外相鄰時(shí),其最小的正壓值應(yīng)該大于5Pa。因此,規(guī)定潔凈室與室外的最小壓差為10Pa。由于各行各業(yè)的潔凈廠房內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝不同,各產(chǎn)品生產(chǎn)工序的條件差異,不同等級(jí)或潔凈室(區(qū))與非潔凈室(區(qū))之間的壓差取值均有差別,所以本次修訂將本條改為推薦性條文。

  6.2.3  國內(nèi)外潔凈室壓差風(fēng)量的確定,多數(shù)是采用房間換氣次數(shù)估算的。因?yàn)閴翰铒L(fēng)量的大小是與潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)的氣密性及維持的壓差值大小有關(guān),對(duì)于相同大小的房間,由于門窗的數(shù)量及形式的不同,氣密性不同,導(dǎo)致滲漏風(fēng)量也不同,故維持同樣大小的壓差值所需壓差風(fēng)量就有所差異。兇此,在選取換氣次數(shù)時(shí),對(duì)于氣密性差的房間取上限,氣密性較好的房間可取得小一些。

  (1)  采用縫隙法來計(jì)算滲漏風(fēng)量,既考慮了潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)的氣密性,又考慮了室內(nèi)維持不同的壓差值所需的正壓風(fēng)量。因此,縫隙法比按房間的換氣次數(shù)估算法較為合理和精確。

  單位長度縫隙滲漏空氣量用公式計(jì)算是比較困難的,一般是通過不同形式的門、窗進(jìn)行多次試驗(yàn)的數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)后得出的。表7是對(duì)國內(nèi)潔凈室的20多種常用的門、窗在實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行了大量的試驗(yàn)后取得的數(shù)據(jù),雖然近年來潔凈室門窗的材料和形式有很大的發(fā)展,但目前還有部分潔凈室仍然采用鋼制密封門窗,故表7中的數(shù)據(jù)仍可供設(shè)計(jì)時(shí)參考。

  表7 圍護(hù)結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風(fēng)量

門窗形式
漏風(fēng)量(m3/h·m)
壓差(Pa) 

非密
閉門

密閉門

單層固定密閉鋼窗

單層
開啟式
密閉鋼窗

傳遞窗

壁板

5

17

4

0.7

3.5

2.0

0.3

10

24

6

1.0

4.5

3.0

0.6

15

30

8

1.3

6.0

4.0

0.8

20

36

9

1.5

7.0

5.0

1.0

25

40

10

1.7

8.0

5.5

1.2

30

44

11

1.9

8.5

6.0

1.4

35

48

12

2.1

9.0

7.0

1.5

40

52

13

2.3

10.0

7.5

1.7

45

55

15

2.5

10.5

8.0

1.9

50

60

16

2.6

11.5

9.0

2.0

  縫隙法宜按下式計(jì)算:

  Q=a·∑(q·L)

  式中:Q——維持潔凈室壓差值所需的壓差風(fēng)量(m3/h);

  a——根據(jù)圍護(hù)結(jié)構(gòu)氣密性確定的安全系數(shù),可取1.1~1.2;

  q——當(dāng)潔凈室為某一壓差值時(shí),其圍護(hù)結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風(fēng)量(m3/h·m);

  L——圍護(hù)結(jié)構(gòu)的縫隙長度(m)。

  (2) 換氣次數(shù)法,宜按下列數(shù)據(jù)選用:

  壓差5Pa時(shí),取1次/h~2次/h。

  壓差10Pa時(shí),取2次/h~4次/h。

  6.2.4  潔凈室(區(qū))的正壓或負(fù)壓是以對(duì)室內(nèi)的送風(fēng)量、回風(fēng)量和排風(fēng)量平衡協(xié)調(diào)實(shí)現(xiàn)的,為確保潔凈室所需的正壓值或負(fù)壓值,通常還應(yīng)將送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)順序啟停,為此作了本條規(guī)定。但實(shí)踐證明,由于各行各業(yè)的潔凈室(區(qū))的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝或使用要求不同,有些潔凈室是間斷、不連續(xù)運(yùn)行,所以送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟停雖然大多采用聯(lián)鎖控制,而有的也采用手動(dòng)控制,為此本次修改將本條改為推薦性條文。

  6.2.5  根據(jù)對(duì)國內(nèi)潔凈室的調(diào)查表明,有一部分潔凈室設(shè)置了值班風(fēng)機(jī),但多數(shù)潔凈室沒有設(shè)置值班風(fēng)機(jī),而是采用上班前提前半小時(shí)運(yùn)行凈化空調(diào)系統(tǒng)達(dá)到潔凈室自凈的方法。

  非連續(xù)性運(yùn)行的潔凈室設(shè)置值班送風(fēng)的問題,應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝具體情況而定。如果生產(chǎn)工藝要求嚴(yán)格,在空氣凈化調(diào)節(jié)系統(tǒng)停止運(yùn)行時(shí),會(huì)污染室內(nèi)放置的半成品,又不能采用局部處理時(shí)最好設(shè)置值班送風(fēng),值班送風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)送出經(jīng)過凈化空調(diào)處理的空氣,以避免潔凈室內(nèi)產(chǎn)品或設(shè)備結(jié)露。

  6.3 氣流流型和送風(fēng)量

  6.3.1 潔凈室的氣流流型應(yīng)考慮避免或減少渦流。這樣可以減少二次氣流,有利于迅速有效地排除粒子。

  對(duì)于空氣潔凈度要求不同的潔凈室(區(qū)),所采用的氣流流型亦應(yīng)不同。近年在電子工廠潔凈廠房或醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房內(nèi),為減少建設(shè)工程造價(jià)、降低能量消耗,常常采用同時(shí)具有單向流和非單向流的混合流潔凈室,即使在微電子生產(chǎn)潔凈廠房中要求1級(jí)~3級(jí)的空氣潔凈度等級(jí)的生產(chǎn)環(huán)境也采用混合流潔凈室,即在潔凈廠房的潔凈生產(chǎn)區(qū)采用5級(jí),僅在局部或微環(huán)境內(nèi)采用1級(jí)~3級(jí)。根據(jù)上述情況,本條進(jìn)行了新的規(guī)定,并修改為推薦性條文。

  6.3.2  潔凈室(區(qū))的送風(fēng)量是確保其正常運(yùn)行的基本條件,本條規(guī)定的潔凈室(區(qū))送風(fēng)量應(yīng)取三項(xiàng)中最大值是多年來國內(nèi)外的經(jīng)驗(yàn)總結(jié),如果不是“最大值”,則將使建造后的潔凈室達(dá)不到所要求的潔凈度等級(jí)或環(huán)境條件達(dá)不到要求或作業(yè)人員健康得不到保障,為此,本條規(guī)定為強(qiáng)制性條文。

  6.3.3 潔凈室送風(fēng)量計(jì)算所用的數(shù)據(jù)是參照國際標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——第四部分,設(shè)計(jì)、施工和啟動(dòng)》ISO  14644-4-2001中表B.2而編制的。其中,換氣次數(shù)系根據(jù)我國實(shí)際情況確定的。

  (1) 表6.3.3空氣潔凈度等級(jí)系指靜態(tài)而言。其編制理由如下:

  1) 工程施工前的空氣潔凈度測(cè)試,一般都是在空態(tài)或靜態(tài)下進(jìn)行的;

  2) 國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)中大多已明確規(guī)定按靜態(tài)進(jìn)行空氣潔凈度測(cè)試。如果設(shè)計(jì)時(shí)業(yè)主提出須按動(dòng)態(tài)進(jìn)行驗(yàn)收時(shí),則另行處理。

  (2) 參照已經(jīng)發(fā)布的國際標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——第四部分,設(shè)計(jì)、施工和啟動(dòng)》ISO  14644-4中對(duì)微電子潔凈室、醫(yī)藥工業(yè)潔凈室的送風(fēng)量的規(guī)定,以及在本規(guī)范修訂過程中對(duì)國內(nèi)已投入運(yùn)行的各類潔凈廠房實(shí)際運(yùn)行狀況的調(diào)查研究,經(jīng)分析表明,《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——第四部分,設(shè)計(jì)、施工和啟動(dòng)》ISO  14644-4-2001中表B.2對(duì)不同等級(jí)的潔凈室送風(fēng)量、平均風(fēng)速的相關(guān)數(shù)據(jù)基本合理,編寫組結(jié)合國內(nèi)的實(shí)際狀況作了必要的調(diào)整,現(xiàn)將表B.2摘錄于表8。

  表8 微電子潔凈室實(shí)例

潔凈度等級(jí)
ISO等級(jí)

氣流流型

平均風(fēng)速
(m/s)

單位面積送風(fēng)量
(m3/m2·h)


應(yīng)用實(shí)例

2

U

0.3~0.5

光刻、半導(dǎo)體加工區(qū)

3

U

0.3~0.5

工作區(qū),半導(dǎo)體加工區(qū)

4

U

0.3~0.5

工作區(qū),多層掩膜加工、光盤制造、半導(dǎo)體服
務(wù)區(qū)、動(dòng)力區(qū)

5

U

0.2~0.5

6

N或M

70~160

動(dòng)力區(qū)、多層掩膜加
工、半導(dǎo)體服務(wù)區(qū)

7

N或M

30~70

服務(wù)區(qū)、表面處理

8

N或M

10~20

服務(wù)區(qū)

  注:1 制定最佳設(shè)計(jì)條件之前,首先應(yīng)明確使用環(huán)境的ISO級(jí)別有關(guān)的占用狀態(tài);

  2 氣流流型符號(hào)的意義:U為單向流流型;N為非單向流流型,M為混合流流型(單向流和非單向流的組合流型);

  3 平均風(fēng)速通常適用于單向流流型。單向流平均流速大小與被控制空間的形狀和熱氣流溫度有關(guān)。單向流流速不是指過濾器面風(fēng)速;

  4 單位面積送風(fēng)量適用于非單向流流型和混合流流型。單位面積送風(fēng)量的推薦值適用于層高為3.0m的潔凈室;

  5 在潔凈室設(shè)計(jì)中須考慮密封措施;

  6 對(duì)于污染源以及污染區(qū)可用隔板或空氣幕予以有效分隔。

  由于本條規(guī)定的潔凈送風(fēng)量主要是依據(jù)目前國內(nèi)外的實(shí)際狀況的經(jīng)驗(yàn)總結(jié),各類工業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝的差異和不斷進(jìn)步,使其潔凈室的送風(fēng)量有所差異,所以本次修訂將本條改為推薦性條文。

  6.4 空氣凈化處理

  6.4.1  近年來,我國各類潔凈廠房中所采用的空氣過濾器品種、布置和安裝方式均發(fā)生了較大變化,特別是一些外資、合資企業(yè)和空氣潔凈度等級(jí)要求十分嚴(yán)格的潔凈廠房變化尤為明顯。為了有利于本規(guī)范的實(shí)施,本次修訂將本條第1~4款改為推薦性條文。

  6.4.3  在工藝生產(chǎn)過程不產(chǎn)生有害物時(shí),凈化空調(diào)系統(tǒng)在保證新鮮空氣量和保持潔凈室壓差的條件下,為了節(jié)約能源,應(yīng)盡量利用回風(fēng)。而單向流潔凈室的換氣次數(shù)大,當(dāng)機(jī)房距單向流潔凈室較遠(yuǎn)時(shí),可以使一部分空氣不回機(jī)房而直接循環(huán)使用。近年來,一些高潔凈等級(jí)的單向流潔凈室采用新風(fēng)集中處理+FFU凈化空調(diào)系統(tǒng),它是由多臺(tái)風(fēng)機(jī)過濾器單元設(shè)備組成實(shí)現(xiàn)潔凈室回風(fēng)的直接循環(huán),如圖2所示。

  圖2 風(fēng)機(jī)過濾器單元送風(fēng)方式(FFU)示意圖

  當(dāng)生產(chǎn)工藝過程產(chǎn)生大量有害物質(zhì),局部排風(fēng)又不能滿足衛(wèi)生要求,并對(duì)其他工序有影響時(shí),才能采用直流式凈化空調(diào)系統(tǒng)。因?yàn)楫?dāng)車間內(nèi)的有害物質(zhì)不能全部排除時(shí),如再使其循環(huán)使用,則會(huì)造成車間內(nèi)的有害物濃度越來越大,對(duì)人員健康及生產(chǎn)有影響,故應(yīng)采用直流式凈化空調(diào)系統(tǒng)。

  6.4.4  在凈化空調(diào)系統(tǒng)中,考慮到系統(tǒng)的阻力變化影響其風(fēng)量等因素,風(fēng)機(jī)采用變頻調(diào)速裝置作恒定風(fēng)量或定壓控制,通常由高效過濾器的壓差變化控制變頻裝置。一些單位的實(shí)踐說明.使用后有明顯節(jié)能效果。

  6.4.5 由于原規(guī)范本條部分內(nèi)容與第9.4.3條重復(fù),本次修訂中將有關(guān)電加熱器等內(nèi)容移至第9.4節(jié)。

  本條規(guī)定所指的寒冷地區(qū)是處于建筑氣候區(qū)劃一級(jí)區(qū)中I區(qū)(1月平均氣溫小于或等于-10℃)和Ⅱ區(qū)(1月平均氣溫-10℃~0℃)的地區(qū),在此類地區(qū)的新風(fēng)系統(tǒng)采用防凍措施,是為了防止新風(fēng)機(jī)組表冷器凍裂。

  6.5 采暖通風(fēng)、防排煙

  6.5.1  對(duì)國內(nèi)現(xiàn)有潔凈室的調(diào)研看到,為防止散熱器引發(fā)的污染,除少數(shù)改建工程仍采用原有散熱器作潔凈室采暖外,新建潔凈室沒有采用散熱器采暖的,考慮到技術(shù)的發(fā)展,本條規(guī)定了包括8級(jí)和8級(jí)以上潔凈室不應(yīng)采用散熱器采暖,為此本條作為強(qiáng)制性條文。

  6.5.3  對(duì)于局部排風(fēng)系統(tǒng)單獨(dú)分開設(shè)置的規(guī)定是為了防止排風(fēng)系統(tǒng)中的易燃、易爆、有毒、腐蝕性介質(zhì)的相互滲混、交叉污染,誘發(fā)各種安全事故,并參照現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB  50019的規(guī)定制定,本條為強(qiáng)制性條文。

  6.5.4  國內(nèi)大部分潔凈室的排風(fēng)裝置都設(shè)置了防倒灌措施,防止凈化空調(diào)系統(tǒng)停止運(yùn)行時(shí),室外空氣倒流入潔凈室,引起污染或積塵。工程中常采取的防倒灌措施:一是采用中效過濾器,其結(jié)構(gòu)比較簡單,維護(hù)管理方便;二是采用止回閥,其使用方便,無須經(jīng)常維修管理,但密封性較差;三是采用密閉閥,其密封性好,但結(jié)構(gòu)復(fù)雜,要人工經(jīng)常操作管理;四是采用自動(dòng)控制裝置。本條涉及潔凈廠房內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)的安全、穩(wěn)定運(yùn)行,所以規(guī)定為強(qiáng)制性條文。

  6.5.5  廁所、換鞋、存外衣、盥洗和淋浴等輔助房間是產(chǎn)生灰塵、臭氣和水蒸氣的地方,緊靠潔凈區(qū),若處理不當(dāng),將會(huì)使這些有害物滲入潔凈室,污染潔凈室。本條是確保潔凈室(區(qū))不被這些輔助房間污染的規(guī)定,鑒于具體做法也沒有量化的靜壓值規(guī)定,本次修改為推薦性條文。通風(fēng)措施的做法一般宜采用下述方式:

  (1) 送入經(jīng)過中效過濾器過濾后的潔凈空氣;

  (2) 送入潔凈室多余的回風(fēng)或正壓排風(fēng);

  (3) 在廁所或浴室內(nèi)采用機(jī)械排風(fēng)。

  6.5.6 鑒于事故排風(fēng)是保證生產(chǎn)安全和員工安全的一項(xiàng)必要措施,所以按照現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB  50019的規(guī)定應(yīng)設(shè)計(jì)事故排風(fēng)裝置。本條是確保潔凈廠房安全運(yùn)行的重要條件之一,所以規(guī)定為強(qiáng)制性條文。

  6.5.7  從近年來國內(nèi)建造的潔凈廠房的調(diào)研資料可以看出,一部分潔凈廠房為確保人員疏散的安全性,在疏散走廊設(shè)置了機(jī)械排煙或加壓送風(fēng)系統(tǒng),如三星視界有限公司,深圳大學(xué)實(shí)驗(yàn)樓,賽格日立等。潔凈廠房的疏散走廊及其長度,依據(jù)具體工程項(xiàng)目的不同位置,差異較大,難于統(tǒng)一。本規(guī)范實(shí)施以來的潔凈廠房設(shè)計(jì)建造均在疏散走道設(shè)置了機(jī)械排煙系統(tǒng),為此,本條第1款規(guī)定在疏散走廊應(yīng)設(shè)置機(jī)械排煙系統(tǒng),并作為強(qiáng)制性條款。

  本條第2款規(guī)定了各類產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈廠房應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB  50016的有關(guān)規(guī)定設(shè)置排煙設(shè)施,這是由于各行業(yè)潔凈廠房內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、使用要求和布置均不相同,在本規(guī)范中很難作出統(tǒng)一的“排煙設(shè)施的規(guī)定”,所以本款為推薦性條款。

  6.6 風(fēng)管和附件

  6.6.1  新風(fēng)管上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)新風(fēng)比;電動(dòng)密閉閥用于空調(diào)機(jī)停止運(yùn)行時(shí)關(guān)閉新風(fēng)。回風(fēng)總管上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)回風(fēng)比。送風(fēng)支管上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)潔凈室的送風(fēng)量?;仫L(fēng)支管上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)潔凈室內(nèi)的正壓值??照{(diào)機(jī)出風(fēng)口處的密閉調(diào)節(jié)閥用于并聯(lián)空調(diào)機(jī)停運(yùn)時(shí)的關(guān)閉切斷,也可用于單臺(tái)空調(diào)機(jī)的總送風(fēng)量調(diào)節(jié)。排風(fēng)系統(tǒng)吸風(fēng)管段上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)局部排風(fēng)量,排風(fēng)管段上的止回閥或電動(dòng)密閉閥等用于防止室外空氣倒灌。

  6.6.2 參照現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB  50016的有關(guān)條文,并結(jié)合潔凈室情況作出的本條規(guī)定。風(fēng)管穿過變形縫有三種情況:一是變形縫兩側(cè)有防火隔墻,二是變形縫一側(cè)有防火隔墻,三是變形縫兩側(cè)沒有防火隔墻。規(guī)范條文是按第一種情況兩側(cè)設(shè)置防火閥。通風(fēng)系統(tǒng)的防火閥是在一旦出現(xiàn)火情時(shí),防止火勢(shì)蔓延的主要手段,為此本條為強(qiáng)制性條文。

  6.6.3  從不影響空氣凈化效果及經(jīng)濟(jì)兩個(gè)方面考慮,凈化空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管與附件的制作材料是隨著輸送空氣凈化程度的高低而定的。潔凈度高的選用不易產(chǎn)塵的材料,潔凈度低的選用產(chǎn)塵少的材料。

  排風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)管與附件的制作材料是隨著輸送氣體的腐蝕性程度的強(qiáng)弱而定。

  6.6.4  凈化空調(diào)系統(tǒng)的送、回風(fēng)及排風(fēng)系統(tǒng)消聲措施的設(shè)置,應(yīng)根據(jù)系統(tǒng)設(shè)置的實(shí)際情況,經(jīng)計(jì)算是否滿足室內(nèi)外噪聲標(biāo)準(zhǔn),確定消聲措施的設(shè)置,故本條改為推薦性條文。

  6.6.5 在各級(jí)空氣過濾器的前、后設(shè)測(cè)壓孔或安裝壓差計(jì),便于運(yùn)行中隨時(shí)了解各級(jí)空氣過濾器的阻力變化情況,以便及時(shí)清洗或更換。

  6.6.6  風(fēng)管及附件的不燃材料是指各種金屬板材,難燃材料是指氧指數(shù)大于或等于32的玻璃鋼。風(fēng)管保溫和消聲的不燃材料是指巖棉、玻璃棉等,難燃材料是指氧指數(shù)大于或等于32的聚氨酯(聚苯乙烯)泡沫塑料、橡塑海綿等。穿越防火墻及變形縫防火隔墻兩側(cè)各2000mm范圍內(nèi)的風(fēng)管和電加熱器前、后800mm范圍內(nèi)的風(fēng)管的保溫材料和墊片、粘結(jié)劑等,均應(yīng)采用不燃材料或難燃材料。本條規(guī)定了風(fēng)管及附件、輔助材料的耐火性能,所以規(guī)定為強(qiáng)制性條文。



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