電子潔凈廠房在一定空間范圍內(nèi)，將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)的工程學科。凈化工程所特別設(shè)計的房間，不論外在空氣條件如何變化，室內(nèi)均具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。

打造一個合格的電子潔凈廠房，科學合理的設(shè)計方案是基礎(chǔ)，優(yōu)質(zhì)的施工是必要條件。合理安排，科學管控，有序進行的電子凈化車間施工，才能保證工程成功交付，以達到預(yù)期設(shè)計目標。以普通電子潔凈廠房為例，施工安裝大致分為風管安裝、消聲隔振、設(shè)備安裝、照明、配電、冷凍站配置和其他安裝工程等。

一、消聲隔振

1) 通風機、空調(diào)機組、冷水機組、水泵均設(shè)隔震墊;

2) 水泵及冷水機組進出口處應(yīng)安裝可曲繞柔性接頭。

二、風管安裝

1) 風管采用優(yōu)質(zhì)鍍鋅鋼板制作安裝，風管邊長≤900時不應(yīng)有拼接縫，>900時應(yīng)盡量減少縱向拼接縫，不得有橫向拼接縫，各種咬口處、拼接處、鉚接處必須涂封膠或貼密封膠帶。

2) 風管采用法蘭連接，法蘭間填充5毫米閉孔橡塑海綿密封墊，法蘭與風管連接采用實鉚釘連接，所有凈化風管法蘭、螺栓、螺母、墊圈和鉚釘均應(yīng)做鍍鋅處理。

3) 所有水平或垂直的風管必須設(shè)置必要的支、吊或托架，風管最長邊≤1000毫米的吊架間距定位不超過3.5米，風管最長邊1000～2500毫米的吊架間距不超過2.5米。

4) 空調(diào)機組送回風總管和新風管及需要設(shè)置的部位應(yīng)設(shè)風量測定孔，具體位置由現(xiàn)場確定。

5) 凈化風管制作完畢后必須進行清洗后方可安裝，安裝完畢后須進行漏光測試。

6) 空調(diào)系統(tǒng)的送回風管道及其配件均需保溫，保溫材料為PEF保溫板，厚度為20毫米。

7) 水管防腐，冷水系統(tǒng)的焊接鋼管、膨脹水箱應(yīng)清除表面鐵銹、焊渣、毛刺、油污等，并在系統(tǒng)試壓合格后刷一層防銹漆。

8) 水管保溫，冷水管及冷凝水管均采用PEF保溫材料。

9) 冷水系統(tǒng)的清洗與打壓試驗，冷水管道與空調(diào)設(shè)備連接前，必須反復(fù)沖洗、排污，管道系統(tǒng)安裝完工后，應(yīng)進行水壓試驗，試壓壓力為1.5倍的工作壓力，壓力試驗升至試驗壓力后，穩(wěn)壓10分鐘，壓力下降不得大于0.02Mpa，外觀檢查無滲漏為合格。

三、設(shè)備安裝

設(shè)備基礎(chǔ)帶設(shè)備到貨核實尺寸后再施工，設(shè)置安裝調(diào)試須按生產(chǎn)廠家的規(guī)定和有關(guān)規(guī)程執(zhí)行。

四、照明、配電

電子潔凈廠房(1萬級)用明裝凈室?guī)д址缐m燈40WX2。

工作區(qū)照度>250Lux, 走道照度>100Lux,有精細加工操作區(qū)域可采用局部照明。

布線按國家規(guī)范執(zhí)行，用穿線鋼管暗敷，符合防火及用電規(guī)范。

所有管線穿過潔凈區(qū)域均做好密封，線管線槽的內(nèi)孔(內(nèi)槽)應(yīng)全密封。

進入凈房的氣管、水管也須做密封，能設(shè)置在頂棚上走的管道，設(shè)置在頂棚上，使車間整潔干凈。

五、冷凍站配置

冷主機：按照甲方要求，將空調(diào)系統(tǒng)分區(qū)1個，則空調(diào)主機設(shè)計為1臺，采用風冷恒溫恒濕型空調(diào)機，風量：12000m /h，冷量34KW，熱量36KW。

冷源容量配置方案：潔凈車間設(shè)計冷負荷34KW，采用風冷恒溫恒濕型空調(diào)機15匹，制冷量為34KW，滿足要求。方案綜合考慮空調(diào)系統(tǒng)實際運行的特點，不但有足夠的裝機容量，又能保證潔凈廠房連續(xù)、可靠運行，而且一次投資節(jié)約及運行經(jīng)濟。

風管及保溫：凈化空調(diào)系統(tǒng)風道采用優(yōu)質(zhì)鍍鋅板制作，并按規(guī)范進行密封處理。除新風及排風管道外，所有風管均需保溫。保溫材料用優(yōu)質(zhì)鋁箔玻璃棉氈/玻璃棉管：厚度40mm，24K，其導(dǎo)熱系數(shù)：0.03kcal/mh℃以下，冷水管：50mm/56K保溫棉。

六、其他

1) 空調(diào)器的技術(shù)參數(shù)與材質(zhì)要求參考空調(diào)器構(gòu)件性能表和訂貨合同;

2) 安裝單位應(yīng)與土建單位密切配合預(yù)留風、水管穿墻及樓板洞，風、水管和風口的安裝應(yīng)與裝修密切配合;

3) 其他未說明處應(yīng)嚴格執(zhí)行《通風與空調(diào)工程施工及驗收規(guī)范》(GB50243---2002)及《潔凈室施工及驗收規(guī)范》(JGJ71--90)的相關(guān)標準和規(guī)定。

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